A mikrotechnológia fejlődésének és újabb eredményeinek köszönhetően, manapság már megvalósítható akár milliárd tranzisztoros bonyolultságú és temérdek sok funkciót ellátó mikroszerkezetek, érzékelők és integrált áramkörök előállítása. Enyhe túlzással akár azt is mondhatnánk, hogy már képes az emberiség atomi méretekben történő megmunkálásra. Ennek a technológiának a termékeit (kvarcóra, kalkulátor, mobiltelefon…) mindannyian ismerjük és használjuk. Mivel manapság majdnem minden elektonikai szerkezetben találhatók nagyon kicsi mikrochipek, mikrokontrollerek, és számos más érzékelők, ezért vált olyan fontossá ezeknek az előállításában használatos marási technikák vizsgálata és fejlesztése.
Mivel alkalmam volt résztvenni a MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudománi Kutatóintézet laboratóriumában termoelemchippek készítésében és tanulmányozásában, ezért elhatároztam, hogy behatóbban tanulmányozom ezt a témakört. Dolgozatomban leírom a marási technikák elméletét és a kutatásaimhoz kapcsolódó kísérletek gyakorlati kivitelezését, valamint az ide kapcsolódó fizikai mennyiség mérését.
Bővebben: Szilícium plazmamarása
A dolgozat szerzője: László Sándor
Comments are closed.